マ－カス型高周波グロ－放電発光表面分析装置

概 要

本装置は、他の表面分析装置の様に高真空を必要とせず、良好な深さ分解能と非常に早いスパッタ速度が得られ、数nm～数十μmの深さの被膜に対して、深さ方向の多元素同時測定を容易に行うことができるマーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置であり、表面分析法のみならず、バルク試料を一切の化学処理なしに固体のまま迅速に定量分析できるバルク分析法と、固体の全発光波長を数分で取り込んで定性分析を簡易かつ迅速に行うイメージ分析法もできる。さらに、本装置の操作、保守管理が非常に容易なため、研究開発用はもとよりラインの評価装置としても使用されている。