電子線マイクロアナライザ
| 機器通称 | EPMA | 保管場所 | E棟1F計測センター |
|---|---|---|---|
| メーカー | 日本電子（株） | 型式(規格) | JXA-1600 |
用途
固体試料表面の形態観察、構成微量元素の定性・定量分析
主要性能
- 分析元素範囲：WDS、EDS：B～U
- WDS分光範囲：0.087～9.3nm
- EDSエネルギーレンジ： 20keV
- X線分光器数：WDS：5基、EDS：1基
- WDS分光器種類
1ｃｈ：TAPH/LED2H
2ｃｈ：TAP/LDE1
3ｃｈ：PET/LIF
4ｃｈ：PETH/LIFH
5ｃｈ：PETH/LIFH - 最大試料寸法：100ｍｍ×100ｍｍ×50ｍｍ（H）
- 加速電圧：0.2～30ｋV(0.1ｋVステップ)
- 照射電流範囲： 10-12～10-5A
- 二次電子分解能（W.D.11mm、30ｋV）： 6nm（W）、5nm（LaB6）
- 走査倍率（W.D.11nm）：40～300,000倍
- 走査像解像度： 最大5120×3840