三次元光学プロファイラー

用途

滑面、粗面、平面、傾斜面、及び段差を含む広範囲な表面形状を測定。

測定対象仕様

• 材質：不透明体、透明体、コーティング、コーティング無し、鏡面、粗面
• 反射率：0.05％～100％

主要性能

• 垂直走査レンジ：7mm（10倍レンズ）
• 表面形状繰り返し精度：0.08nm
• 繰り返しRMS：0.008nm
• 水平方向解像度：0.34µm　（100倍 0.85NAを使用の場合）
• 水平サンプリングサイズ：0.04µm　（100倍 2倍 ズームを使用の場合）
• 最大データ走査速度：171µm/sec
• 最大データポイント：1,920,000
• 段差高さ測定精度：不確かさ≦0.3％、繰り返し性≦0.1％＠1σ

対物レンズ

• 1.4倍、10倍、20倍、50倍、100倍