電界放出形走査電子顕微鏡
| 機器通称 | FE-SEM | 保管場所 | E棟1F計測センター |
|---|---|---|---|
| メーカー | 日本電子(株) | 型式(規格) | JSM-7100F |
概 要
本装置は、ショットキー電界放出電子銃と最先端の画像表示技術、コンピュータ技術により、試料表面の微細構造を高分解能で観察することができる。また、エネルギー分散型X線分光器（EDS）、電子線後方散乱回折分析装置（EBSD）を装着することにより、元素分析、結晶解析などの種々の分析も行うことができる電界放出形走査電子顕微鏡で、主に金属、鉱物、半導体、生物及び新素材などの研究分野や生産技術分野などで使用されている。
基本性能
- 二次電子分解能：1.2nm保証（加速電圧30kV） 3.0nm保証（加速電圧1kV） 3.0nm保証（加速電圧15kV、照射電流5nA、WD10mm）
- 倍率：×10（WD10mm）～1,000,000 自動倍率補正機能付き、任意の倍率からプリセット倍率（任意）に瞬時切換え可能、WDに対して、各EOSモードでの像回転補正機能付き
- 加速電圧：0.2～30 kV
- 照射電流：10-12～2×10-7 A
- 反射電子像による組成分布の観察
- EDSによるナノ領域の元素分析
- EBSDによるナノ材料の結晶方位解析