原子間力顕微鏡

概 要

本装置は、プローブ（探針）と試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する走査型プローブ顕微鏡（SPM、Scanning Probe Microscope）である。特に有機（高分子）、半導体（エレクトロニクス）、無機材料、金属（誘電体、磁性体）、生体などの幅広い分野で使用されている。また、AFM（Atomic Force Microscopy）と呼ばれることもある。

測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別できる。

基本性能

• 検出系：光てこ方式
• 検出系の光源：低コヒーレント型半導体レーザー
• 分解能：原子分解能
• 試料サイズ：最大35 mmφ、厚さ10 mm
• スキャナ（走査範囲）：オープンループ  XY：20 µm／Z：1.5 µm,  XY：150 µm／Z：5 µm
• 光学顕微鏡：ズーム機能付顕微鏡
• 基本機能：AFM（原子間力顕微鏡）, DFM（共振型SPM）, PM（位相測定）, FFM（摩擦力顕微鏡）
• 拡張機能：VE-AFM（マイクロ粘弾性顕微鏡）, C-AFM（導電性顕微鏡）, SSRM（広がり抵抗顕微鏡）, SNDM（非線型誘電率顕微鏡）, PRM（圧電応答顕微鏡）, KFM（表面電位顕微鏡）, MFM（磁気力顕微鏡）
• 除振機構：エア供給式パッシブ除振台
• 試料移動機構：マニュアルステージXY：±2.5 mm
• 対応環境：大気