走査電子顕微鏡②

概 要

本装置は、0.3 kV～30 kVで加速された電子線を光源として二次電子像及び反射電子像を50倍から50,000倍の倍率で観測できる走査電子顕微鏡であり、フィラメント電流の調整、焦点調整、非点収差調整、ガンアライメント等は自動化されている。

本装置の試料台は水平方向の2軸における自動位置決めが可能であり、試料の交換時間は約2分と短い。また、低真空モードに切り替えることによって、試料表面に金蒸着やカーボンコーティングなどの前処理なく、不導体試料の観察が可能となる。

仕様

• 分解能：二次電子像分解能 3.0nm保証(高真空モ－ド)、 反射電子像分解能4.0nm保証(低真空モ－ド)
• 加速電圧：0.3～30kV
• 排気系：高真空モード 到達真空度 1.5×10^-3Pa、低真空モ－ド 低真空範囲 1～270Pa