マルチ製膜装置

概 要

本装置は、2つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネトロンスパッタ製膜、親水処理機能を有するマルチ製膜装置であり、床置きロータリポンプによる排気で、2系統の排気管切替を行っている。

基本性能

カーボン蒸着

• SLC-30（φ0.5mm）または推奨シャーペン替え芯専用カーボン蒸着装置
• カーボン整形不要
• 蒸着膜厚の目安は下記

  シャッター遮蔽	距離L（mm）	膜厚t（nm）
  無	50	50
  	70	25
  有	50	17
  	70	8

イオンコーター

• ターゲット：Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Pd、Ag使用可能。サイズはφ50 mm
• ターゲット/試料間隔：35 mm固定
• 雰囲気ガス導入：なし
• コーティングレート目安（Au）
  Pt、Pt-Pdは3割減。
  電流値：30mA（Au・Au-Pd）、40mA（Pt、Pt-Pd）調整時
  雰囲気ガス：空気

  試料面距離（mm）	放電時間（min）	膜厚t（nm）
  25	1	18
  	2	44
  30	1	11
  	2	26

親水処理

• イオンコーター室の電極交換とスイッチ選択により使用可能。
• HYD(S)AC450V/HYD(H)AC550Vの選択で電圧/電流の調整は不要
• 電極サイズ：Φ50mm、アルミ製