エポキシダイボンダー
機器通称 | ダイボンダー | 保管場所 | E棟1F計測センター |
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メーカー | ハイソル(株) | 型式(規格) | WEST-BOND MODEL 7200CR |
用途
接着材(銀ペースト、エポキシ材、UV硬化樹脂等)のディスペンス、スタンピング及びチップピックアップ。銀ペーストを用いたペースト配線作業。
特長
- 新機構X-Y-Z 3軸マニピュレーター(特許)を用いた操作方法
- 360度 コレット回転機構(チップローテーション機構)
- 接着材スタンピング機構
- 接着材ディスペンス機構
- 接着材スキージ機構(オプション)対応
- 単結晶、薄膜等へのペースト配線
- ファイヤリングスイッチ機構(接触圧力検知)により、設定荷重を自動認識してチップをピックアップ
主要性能
- ボンディング方式:荷重圧着方式、荷重10g~75g
- ディスペンス:エアーによるディスペンス、高さ検知 / 手元スイッチ検知 / 接触圧力検知、選択可能
- チップ供給:2インチトレーから供給等、0.15mmの極小チップをはじめΦ0.1mmのハンダボールやΦ0.015mmのワイヤー等も容易にハンドリング
- ピックアップ方法:バキュームによるピックアップ、手元スイッチ検知 / 接触圧力検知、選択可能
- ディスペンス時間:0~999ms 1ms単位で設定可能
- ダイパフタイム(真空破壊):0~25ms 1ms単位で設定可能