真空蒸着装置膜厚計測型Ⅲ
概要
電子顕微鏡の試料台作成に重要な役割を持ち、コロジオン膜のカーボン補強、カーボレンプリカ膜、レプリカや生体高分子などのシャドーイング、フリーズレプリカの作製、蒸着薄膜の作製など、極めて広い用途を持っています。
ニッケルを蒸着装置です。
仕様
| 型番 | HUS-5GB型 |
|---|---|
| 名前 | 真空蒸着装置膜厚計測型 |
| 会社 | 株式会社 東京真空 |
| ベルジャー | ベルジャー上下機横付軟質ガラス（保護カバー付）φ246（φ230）×240H |
| 到達真空度 | ×10-6Torr(到達) |
| 排気系 | 手動操作 |
| 油回転ポンプ | C-150型 |
| 油拡散ポンプ | OFJ-25N型 |
| LN2トラップ | NS-65S型 |
| 蒸着端子 | 100A用2対 1基2対用切替スイッチ付（0～30V×50A） |
| シャッター機構 | 1式 |
| 試料台 | 100角 1式 |
| 真空計 | ペニング真空計 電磁真空計 HI-801型 |
| 所要電力 | 100V 50/60Hz 3KVA |
| 冷却水 | 2L/min |
| 重量 | 150㎏ |