沿革

　集積回路製作センター(クリーンルーム)は，半導体デバイス教育を目的として，昭和60年に全国に先駆けて開設され，その後，平成13年にA棟に移設・新設されました．本施設のような高精度な設備が学生実験のために大学に設けられたのは九州で初めてです．学生が自らの手でデバイスを作り，その性能を調べる実験の学習効果は，既成デバイスを調べる実験とは比べものにならないほど大きいものです．本学のクリーンルームで学ぶ体験は，将来，エンジニアとして活躍する時に大いに役立つはずです．
半導体クリーンルームは微細加工の大敵である，塵・ホコリなどを極力排除した空間です．この部屋の中で様々な研究・実験に取り組んでいます．クリーンルームの空気清浄度は“クラス”で定義されています．実験室ⅠとⅡはクラス10,000以下，フォトリソ室はクラス1,000以下(これは，一辺が約30cmの立方体に，タバコの煙ほどの大きさの微粒子を1000個以下しか発見することができないという意味です)に設計しています．

昭和59年度文部省私立学校施設整備計画申請

平成13年6月新校舎へクリーンルーム新設(平成13年度文部科学省補助申請教育設備申請)