真空蒸着装置膜厚計測型Ⅱ
概要
電子顕微鏡の試料台作成に重要な役割を持ち、コロジオン膜のカーボン補強、カーボレンプリカ膜、レプリカや生体高分子などのシャドーイング、フリーズレプリカの作製、蒸着薄膜の作製など、極めて広い用途を持っています。
アルミを真空蒸着装置です。
仕様
型番 | HUS-5GB型 |
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名前 | 真空蒸着装置膜厚計測型 |
会社 | 株式会社 東京真空 |
ベルジャー | ベルジャー上下機横付軟質ガラス(保護カバー付)φ246(φ230)×240H |
到達真空度 | ×10-6Torr(到達) |
排気系 | 手動操作 |
油回転ポンプ | C-150型 |
油拡散ポンプ | OFJ-25N型 |
LN2トラップ | NS-65S型 |
蒸着端子 | 100A用2対 1基2対用切替スイッチ付(0~30V×50A) |
シャッター機構 | 1式 |
試料台 | 100角 1式 |
真空計 | ペニング真空計 電磁真空計 HI-801型 |
所要電力 | 100V 50/60Hz 3KVA |
冷却水 | 2L/min |
重量 | 150㎏ |