真空蒸着装置膜厚計測型Ⅰ

概要

主に電子顕微鏡のコロジオン膜のカーボン補強膜、カーボンレプリカ膜、シャドウイング及び金属蒸着膜等の試料作成に用いられるレプリカ法用真空蒸着装置として製作されたものでありますが、 一般の実験用、工業用蒸着装置としても広く利用することができます。
非導電性物質の観察には試料表面の導電処理を必要としますが、 本装置は蒸着過程で試料表面を蒸発源に対して傾けたまま回転し、また傾きの方位も回転する試料台、いわゆるジンバル機構を備えています。
したがって、複雑な形状の試料も薄い均一な導電膜を得ることができます。 (左）金を真空蒸着装置です。（右）鉄を真空蒸着装置です。

仕様