マイクロプローバー
概要
本機は微細な半導体ウェハー・プリント基盤や各種材料の電気的特性を測定するためのプロービングを目的とする装置です。
仕様
型番 | Model 701 |
---|---|
名前 | マイクロプローバー |
会社 | MICRONICS JAPAN |
最大試料寸法 | 4インチφ |
試料固定 | 真空吸着法 |
試料台θ軸移動 | 360° |
試料台X,Y軸移動 | 100mm |
顕微鏡スタンド | ポール外径24.5mm |
重量 | 約6kg |
寸法 | W 220×D 300×H 330mm |
オプション | マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等 |