マスクアライメント装置
概要
二視野顕微鏡採用による、スピーディーで確実なアライメント
試料・マスクは、あらゆる形状・材質に対応。
軽量コンパクトだから、移動も容易。
露光用電源内蔵。簡単な操作性。
仕様
| 型番 | MA-10 |
|---|---|
| 名前 | マスクアライナー |
| 会社 | ミサカ製 |
| 顕微鏡 | 双対物双眼顕微鏡 7型 光軸間隔 約18～60mm |
| 照明 | 100V-150W ハロゲンランプ ライトガイド式垂直反射 |
| ランプハウス | 130φ平行光束 シャッター内蔵 冷却ファンダクト式 |
| 露光光源 | 超高圧水銀灯 250W(500W使用可) |
| 露光用タイマー | 0～999.9秒 デジタルセット式 |
| 空圧系 | 顕微鏡駆動用 5kg/㎡ |
| 真空系 | 0.5～0.8kg/㎡ |
| マスクホルダー | 真空吸着固定式 |
| マスクガラス | 真空吸着固定式(フィルムマスク使用可) |
| マスクサイズ | 最大5インチ×5インチ |
| 試料台 | 真空吸着固定式 |
| 試料 | 真空吸着固定式 |
| 試料サイズ | 最大4インチφ |
| 試料厚 | MAX2mm |
| マニブレーター移動範囲 | X.Y：±5mm 微動1/8mm1回転 Z：3mm 微動0.2mmθ：±7度 |
| 十字動ステージ移動範囲 | ±20mm |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 20A |
| 外形寸法(本体) | 760(W)×640(H)×800(D)mm |
| 水銀灯点灯装置 | 内蔵 |
| 質量(本体) | 150kg |
| 質量(点灯装置) | 内蔵 |