高精細クイックマイクロスコープ
| 機器通称 | - | 保管場所 | E棟1F計測センター |
|---|---|---|---|
| メーカー | (株)キーエンス | 型式(規格) | VH-5000、VH-Z500R、VH-Z25 |
概 要
本装置は、レンズVH-Z25（倍率25～175倍）とレンズVH-Z500R（倍率500～5,000倍）を使い分けることにより、一般から微細構造まで観察することができる高精細クイックマイクロスコープであり、前処理なく手軽に観察できるため、撮影、観察に手間がかかる走査電子顕微鏡（SEM）の事前検討にも使用することができる。
基本性能
レンズ：VH-Z25（低倍率用）
- 観察可能倍率：25～175倍
- 照明：リング照明による落射式
- 観察対象物：1 mm以上の立体構造物(基板のハンダ､加工表面等)
レンズ：VH-Z500R（高倍率用）
- 観察可能倍率：500～5,000倍
- 照明：同軸落射式、透過照明式
- スタンド：耐振・高倍率観察システム(VH-S5、落射式､透過式選択可能)
- 観察対象物：1μm以上のサイズ(微生物､金属組織､材料表面等)