ワイヤーボンダー
概要
基板上のボンディングパッドとチップキャリアを配線するボンディング装置です． X-Y-Zの3軸を単一マニピュレーターで連動して動かすことができ， 200 μm角以上のパッドなら少し練習すれば容易に配線できます． 100 μm角以下のパッドもよく練習すればボンディングできます． 超音波ボンディングの他，熱圧着およびそれら両方を組み合わせることで様々なワイヤーを配線することができます． 主に金線とアルミ線のボンディングに使用します．自動ワイヤーフィーダー付き．
仕様
| 名称 | 卓上型マニュアルウェッジワイヤーボンダー |
|---|---|
| 型番 | MODEL-7476D（7400D仕様） |
| メーカー | WEST BOND（代理店 ハイソル株式会社） |
| ボンディング方式 | 超音波，熱圧着，又は超音波熱圧着 |
| ワイヤー | 13 μm～50 μm径の金線またはアルミ線 |
| 周波数 | 63 kHz |
| 荷重 | 18 g～90 g可変 |
| 超音波出力 | 最大4W |
| 超音波時間 | 999 msまで．1ms単位で設定可． |
| ラジアントヒーター | 常温～200℃ |
| ワイヤーフィード角 | 45度 |
| 顕微鏡 | オリンパス社 SZ-51 |
| ワークホルダー | H=68 mm， φ48 mm; |
| ステージサイズ | X=260 mm，Y=200 mm |