酸化用管状炉
概要
試料を酸素中でアニールするために使用するチューブ炉(管状炉）です． 石英管を使用しているため常用温度は1050℃としています．短時間のみなら1200℃も可能です． Si基板の酸化などに用います．
仕様
| 名称 | 酸素アニール用管状炉 |
|---|---|
| 型式 | KTF647 |
| メーカー | 光洋サーモシステム株式会社 |
| 加熱方式 | 電気抵抗加熱 |
| 炉内寸法 | φ155 mm × ;L610 mm |
| チュープ（炉心管）径 | φ150 mm |
| 最高使用温度 | 1200℃ |
| 常用使用温度 | 400～1100℃ |
| 導入ガス | 酸素もしくは加熱水蒸気 |
| 安全装置 | 過熱防止計 |
| 温度制御システム | 3ゾーン制御 |
| 電力調節器 | SSR |
| 熱電対 | PL-Ⅱ |
| 電源 | 3相220 V |
| 電力 | 7100 W |