クイックコーター
概要
スパッタリングによって試料表面に薄膜を形成します． 主に金薄膜の形成に使用しており，電極膜やSEM用試料の前処理に用います．
仕様
| 名称 | クイックコーター |
|---|---|
| 型式 | SC-701 MkⅡ |
| メーカー | サンユー電子株式会社 |
| カソード | φ2 in |
| 導入ガス | Arもしくは空気 |
| 排気系 | ロータリーポンプ |
| チャンバーサイズ | 内径 φ90 mm×D90 mm |
スパッタリングによって試料表面に薄膜を形成します． 主に金薄膜の形成に使用しており，電極膜やSEM用試料の前処理に用います．
| 名称 | クイックコーター |
|---|---|
| 型式 | SC-701 MkⅡ |
| メーカー | サンユー電子株式会社 |
| カソード | φ2 in |
| 導入ガス | Arもしくは空気 |
| 排気系 | ロータリーポンプ |
| チャンバーサイズ | 内径 φ90 mm×D90 mm |