真空蒸着装置Ⅰ型
概要
ヒーター加熱式の真空蒸着装置です． 真空ポンプには拡散ポンプを使用しています． 膜厚計はないため，簡易蒸着に使用します．
仕様
| 名称 | 真空蒸着装置Ⅰ型 |
|---|---|
| 型番 | HUS-5GB型 |
| メーカー | 株式会社 東京真空 |
| ベルジャー | ベルジャー上下機横付軟質ガラス（保護カバー付） φ246 mm（内径φ230 mm）×H240 mm |
| 真空度 | <10-6 Torr |
| 排気系 | 手動 |
| 油回転ポンプ | C-150型 |
| 油拡散ポンプ | OFJ-25N型 |
| LN2トラップ | NS-65S型 |
| 蒸着端子 | 100 A用2対 切替スイッチ付（0～30 V×50 A） |
| シャッター機構 | 1式 |
| 真空計 | ペニング真空計 HI-801型 |
| 所要電力 | 100V，50/60 Hz，3 KVA |
| 冷却水 | 2 L/min |