集積回路
製作センター

スピンコーター

スピンコーター

概要

基板を高速回転させることで,滴下した溶液を薄く表面に広げる装置. 主にフォトリソグラフィレジストの塗布に使用するが他の薬品でも使用可能.

仕様

名称 スピンコーター
型番 1H-DX2
メーカー ミカサ株式会社
試料サイズ φ154 mmまで
スピン室内径 φ290 mm
回転数 300-7000 rpm
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