スピンコーター
概要
基板を高速回転させることで，滴下した溶液を薄く表面に広げる装置． 主にフォトリソグラフィレジストの塗布に使用するが他の薬品でも使用可能．
仕様
| 名称 | スピンコーター |
|---|---|
| 型番 | 1H-DX2 |
| メーカー | ミカサ株式会社 |
| 試料サイズ | φ154 mmまで |
| スピン室内径 | φ290 mm |
| 回転数 | 300-7000 rpm |
基板を高速回転させることで，滴下した溶液を薄く表面に広げる装置． 主にフォトリソグラフィレジストの塗布に使用するが他の薬品でも使用可能．
| 名称 | スピンコーター |
|---|---|
| 型番 | 1H-DX2 |
| メーカー | ミカサ株式会社 |
| 試料サイズ | φ154 mmまで |
| スピン室内径 | φ290 mm |
| 回転数 | 300-7000 rpm |