マスクレス露光装置
概要
フォトリソグラフィで使用する露光装置です．
配列したLEDからの光を集光することでマスクを使用せずに様々なパターンの露光ができます．
露光パターンは画像データ（JPEG,PNG,BITMAP），パワーポイント作図データ（XPS），CADデータ（DXF）を読み込むことが可能で，
修正はソフトウェア上でできるため，軽微な修正の度にマスクの作製をし直す手間と時間，コストが大幅に軽減されます．
またマスクを使用したフォトリソグラフィと異なり，赤色の光を用いて観察し露光時はi線に切り替えて露光するため，
パターンによって基板が隠されることがなく，位置合わせが容易で多重露光が簡単です．
仕様
| 名称 | マスクレス露光装置 PALET |
|---|---|
| 型番 | DDB-701-DL |
| メーカー | ネオアーク株式会社 |
| 光源 | 365 nm（LED） i線に相当 |
| 露光領域 | 25 mm × 25 mm |
| ワークサイズ | 最大φ60 mm × 3 mmt |
| 対物レンズ | 10倍（2倍も取り付け可 [未購入]） |
| 最小露光線幅 | 3 µm（15 µm） |
| ワンショットの露光範囲 | 972 µm × 608 µm（4893 µm × 3060 µm） |
| ワンショットの解像度 | 1280 px × 800 px |
| 露光ドットサイズ | 約0.76 µm（約3.82 µm） |
| 露光時間 | 1～5秒（S1818，10倍レンズ使用，出力100%） |