マスクアライメント装置
概要
フォトリソグラフィで使用するマスクアライメント装置です．
二視野顕微鏡によって正確なアライメントが可能です．
仕様
| 名称 | マスクアライナー |
|---|---|
| 型番 | MA-10 |
| メーカー | ミカサ株式会社 |
| 顕微鏡 | 双対物双眼顕微鏡 7型 光軸間隔 約18～60 mm |
| 露光光源 | 水銀ランプ 250 W |
| 露光波長 | ブロードバンド（g・h・i線） |
| 露光用タイマー | デジタルセット式 0～999.9秒 |
| マスクホルダー | 真空吸着固定式 |
| マスクサイズ | 5 in×5 in (フィルムマスク使用可) |
| 試料台 | 真空吸着固定式 |
| 試料サイズ | φ4 inまで |
| 試料厚 | 2 mmまで |
| マニピュレーター移動範囲 | XY：±5 mm（微動0.125 mm/回転） Z：3 mm（微動0.2 mm） θ：±7°まで |
| 十字動ステージ移動範囲 | ±20 mm |