設置機器
マスクアライメント装置
マスクレス露光装置
スピンコーター
オーブンとホットプレート
真空蒸着装置Ⅰ型
真空蒸着装置Ⅱ型
イオンビームスパッタ装置
クイックコーター
卓上型ランプ加熱装置
酸化用管状炉
窒素アニール用管状炉
デジタルマイクロスコープ
金属顕微鏡
走査型プローブ顕微鏡
表面粗さ測定機
3チャネルデジタルプロファイラ
デジタルプロファイラ
A4 X－Y レコーダ
スクライバー
純水製造装置
パーティクルカウンター
ワイヤーボンダー
ダイボンダー
ヘリウムリークディテクター
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スピンコーター
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真空蒸着装置Ⅰ型
真空蒸着装置Ⅱ型
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酸化用管状炉
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デジタルマイクロスコープ
金属顕微鏡
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表面粗さ測定機
3チャネルデジタルプロファイラ
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ワイヤーボンダー
ダイボンダー
ヘリウムリークディテクター