エレクトロニクス研究所

三次元光学プロファイラー

三次元光学プロファイラー

機器通称 3Dプロファイラー 保管場所 E棟1F計測センター
メーカー AMETEK® 型式(規格) Zygo NewViewTM9000

用途

滑面、粗面、平面、傾斜面、及び段差を含む広範囲な表面形状の測定

測定対象仕様

  • 材質:不透明体、透明体、コーティング、コーティング無し、鏡面、粗面
  • 反射率:0.05%~100%

主要性能

  • 垂直走査レンジ:7mm(10倍レンズ)
  • 表面形状繰り返し精度:0.08nm
  • 繰り返しRMS:0.008nm
  • 水平方向解像度:0.34µm (100倍 0.85NAを使用の場合)
  • 水平サンプリングサイズ:0.04µm (100倍 2倍 ズームを使用の場合)
  • 最大データ走査速度:171µm/sec
  • 最大データポイント:1,920,000
  • 段差高さ測定精度:不確かさ≦0.3%、繰り返し性≦0.1%@1σ

対物レンズ

  • 1.4倍、10倍、20倍、50倍、100倍
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