半導体デバイス
製作実験センター

LCRメータ

LCRメータ

概要

ドットマトリクスLCD。
測定値(6桁,最大999999),測定条件,コンパレータのリミット値と判定結果, リスト掃引テーブルおよびセルフ・テスト・セッセージの表示可能。

仕様

電源電圧 100,120,220 Vac±10 %
240 Vac+5 %-10 %
電源周波数 47~66 Hz
消費電力 最大200 VA
温度範囲 0℃~55℃
湿度範囲 相対湿度≦95 %(40℃)
外形寸法 426(幅)×177(高さ)×498(奥行き)mm
質量 約15 kg(標準)
偏差測定 基準値を記憶し,測定値との偏差,または偏差のパーセンテージを表示
測定等価回路 並列および直列
レンジ切替 自動(AUTO)または手動(HOLD/UP/DOWN)
トリガ  INT(内部),EXT(外部),BUS(GPIB)または,MAN(手動)
ディレイ時間 トリガから測定開始までの時間を0~60.000 sの範囲で1 msステップで設定可能
測定端子 4端子対構造
測定ケーブル長 標準: 0 mおよび1 m オプション4284A-006:0 m,1 m,2 mおよび4 m
積分時間 SHORT,MEDIUMおよびLONG(参考データの測定時間参照)
アベレージング 1~256回を選択可能
測定周波数 20 Hz~1 MHz,8610点
周波数確度 ±0.01 %
測定信号モード ノーマル:測定端子開放時の電圧もしくは短絡時の電流値を設定。
コンスタント:試料のインピーダンス値によらず,実際に試料に印加される電圧もしくは電流値を設定。
出力インピーダンス 100 Ω±3 %
補正機能 OPEN補正:テスト・フィクスチャなどの浮遊アドミタンス(C,G)による測定誤差を補正する。
SHORT補正:テスト・フィクスチャなどの残留インピーダンス(L,R)による測定誤差を補正する。
LOAD補正:希望する測定条件で既知の値を持つ試料(ワーキング・スタンダード)を基準として,誤差を補正する。
リスト掃引 最大10点の測定周波数または信号レベルの掃引点をプログラムし,掃引測定を実行する。 ステップ掃引と連続掃引を選択できる。オプション4284A-001装備の場合,DCバイアス電圧もプログラム可能。
コンパレータ 主パラメータについて10段階のBIN選別が可能。従パラメータについてIN/OUT判定の出力が可能。
選別モード シーケンシャル・モード:大小ランクにより表される連続したBINへの分類。
トレランス・モード:基準値からの偏差量(絶対値またはパーセント)によって区切られたBINへの分類。
BINカウント 0~999999
リスト掃引コンパレータ 各掃引点の測定値について,HIGH/IN/LOW判定の出力が可能。
DCバイアス 0 V,1.5 V,2 Vを選択可能。?
設定確度:±5 %(1.5 V,2 V)。
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