半導体デバイス
製作実験センター

タリステップ

タリステップ

概要

触針式超精密表面粗さ・膜厚測定機です。
Aylor Hobson(英国)は、1886年に光学レンズの製造を開始して以来、 常に新しい技術に挑戦し豊富な経験と誠実な研究により、 次々と技術面の障壁を乗り越えてまいりました。
その結果、物理化学の基礎理論を応用したハイテクノロジー研究集団として、 現在も超精密測定/超精密加工のそれぞれの分野で常に他より一歩前を歩む努力を続けています。

仕様

名前 タリステップ(Talystep)
会社 ランクテーラーホプソン(株)
針圧 10~30μN
スタイラスのピン 互換
標準 円錐形の0.0125㎜
オプション ピラミッドは、名目上は切り捨て0.1×2.5μm
トラバース長 ±1㎜
トラバース表示 0.02㎜
トラバース速度(50Hz) 0.10 0.025 0.0025 ㎜/s
トラバース速度(60Hz) 0.12 0.03 0.003 mm/s
作業ステージエリア 140×165㎜
座標の動き 合計13㎜
目盛0.01mm
喉の深さ 48㎜
試料の最大高さ 25㎜
試料の最小曲率半径 2000㎜
フィルタ範囲 うねり 25Hz 8Hz 2Hz
粗さ 0.33Hz
マニブレーター移動範囲 X.Y:±5mm 微動1/8mm1回転
Z:3mm 微動0.2mmθ:±7度
電源入力 95~130V or 190~260V 50/60Hz
環境温度 ストレージ -5~+55℃
使用温度 +5~+45℃
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