半導体デバイス
製作実験センター

真空蒸着装置膜厚計測型Ⅲ

真空蒸着装置膜厚計測型Ⅲ

概要

電子顕微鏡の試料台作成に重要な役割を持ち、コロジオン膜のカーボン補強、カーボレンプリカ膜、レプリカや生体高分子などのシャドーイング、フリーズレプリカの作製、蒸着薄膜の作製など、極めて広い用途を持っています。
ニッケルを蒸着装置です。

仕様

型番 HUS-5GB型
名前 真空蒸着装置膜厚計測型
会社 株式会社 東京真空
ベルジャー ベルジャー上下機横付軟質ガラス(保護カバー付)φ246(φ230)×240H
到達真空度 ×10-6Torr(到達)
排気系 手動操作
油回転ポンプ C-150型
油拡散ポンプ OFJ-25N型
LN2トラップ NS-65S型
蒸着端子 100A用2対
1基2対用切替スイッチ付(0~30V×50A)
シャッター機構 1式
試料台 100角 1式
真空計 ペニング真空計 電磁真空計 HI-801型
所要電力 100V 50/60Hz 3KVA
冷却水 2L/min
重量 150㎏
Page
Top