半導体デバイス
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3チャネルデジタルプロファイラ

3チャネルデジタルプロファイラ

概要

拡散、LP-CVD炉の炉内温度分布を測定するデジタルプロファイラです。
1度に3点の温度測定が可能で、R熱電対の検出温度をAD変換してデジタル表示するとともに、 RM10G型ペンレコーダにより炉温記録します。
パーソナルコンピュータを接続すると、各炉体毎に温測定データ(温度データ、熱電対データ)や炉内温度分布がファイリングでき、安全で効率のいいメンテナンス管理をサポートすることが可能です。
温度測定に際しては、各入力点のゼロ及び基準電圧を入力し、 AD変換回路を自動校正して各入力間の誤差補正を行う制度の高い計測方法を用いています。

仕様

名前 3チャネルデジタルプロファイラ
会社 大倉電気株式会社
入力レンジ R熱電対 0~1760.0℃
測定点数 3点
精度定格 ±10μV(23℃μV)ただし基準接点補償誤差を除く
内部補償 Pt100 -100.0~100.0℃
基準接点補償誤差 ±0.5℃(±3μV)
チャネル間誤差 ±0.5℃以下
分解能 0.1℃
表示器 7セグメント
表示桁数 炉内温度 5桁 3点
基準接点温度 4桁 1点
表示周期 0.1秒
分解能 0.1℃
記録レンジ ±5、±10、±50、±200、±500℃
記録点数 3点
有効記録幅 100mm
記録紙 クリーンチャート
記録紙送り 60、120、300、600mm/時
記録周期 125m秒
記録色 赤、青、緑
印字色
電源電圧 100VAC±10%
電源周波数 50/60Hz
消費電力 約50VA
周囲温度範囲 10~35℃
使用温度範囲 35~85℃RH(但し、結露しないこと)
外形寸法 470.8W×190.6H×412D
塗装色 フレーム部 ストーングレー
トップ/ボトムカバー ライトグレー
重量 約16kg
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