半導体デバイス
製作実験センター

マイクロプローバー

マイクロプローバー

概要

本機は微細な半導体ウェハー・プリント基盤や各種材料の電気的特性を測定するためのプロービングを目的とする装置です。

仕様

型番 Model 701
名前 マイクロプローバー
会社 MICRONICS JAPAN
最大試料寸法 4インチφ
試料固定 真空吸着法
試料台θ軸移動 360°
試料台X,Y軸移動 100mm
顕微鏡スタンド ポール外径24.5mm
重量 約6kg
寸法 W 220×D 300×H 330mm
オプション マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等
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