半導体デバイス
製作実験センター

スピナー

スピナー

概要

平滑な基材を高速回転させることにより遠心力で薄膜を構成する装置です

仕様

型番 1H-DX2
名前 スピンコーター
会社 ミサカ製
試料サイズ 最大154mmφ,1mmt
スピン室内径 290mmφ
回転数 300-7000rpm
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