半導体デバイス
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マスクアライメント装置

マスクアライメント装置

概要

二視野顕微鏡採用による、スピーディーで確実なアライメント
試料・マスクは、あらゆる形状・材質に対応。
軽量コンパクトだから、移動も容易。
露光用電源内蔵。簡単な操作性。

仕様

型番 MA-10
名前 マスクアライナー
会社 ミサカ製
顕微鏡 双対物双眼顕微鏡 7型 光軸間隔 約18~60mm
照明 100V-150W ハロゲンランプ ライトガイド式垂直反射
ランプハウス 130φ平行光束 シャッター内蔵 冷却ファンダクト式
露光光源 超高圧水銀灯 250W(500W使用可)
露光用タイマー 0~999.9秒 デジタルセット式
空圧系 顕微鏡駆動用 5kg/㎡
真空系 0.5~0.8kg/㎡
マスクホルダー 真空吸着固定式
マスクガラス 真空吸着固定式(フィルムマスク使用可)
マスクサイズ 最大5インチ×5インチ
試料台 真空吸着固定式
試料 真空吸着固定式
試料サイズ 最大4インチφ
試料厚 MAX2mm
マニブレーター移動範囲 X.Y:±5mm 微動1/8mm1回転
Z:3mm 微動0.2mmθ:±7度
十字動ステージ移動範囲 ±20mm
電源 AC100V 50/60Hz 20A
外形寸法(本体) 760(W)×640(H)×800(D)mm
水銀灯点灯装置 内蔵
質量(本体) 150kg
質量(点灯装置) 内蔵
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