エレクトロニクス研究所

走査電子顕微鏡

機器通称 SEM 保管場所 E棟1F計測センター
メーカー (株)日立サイエンスシステムズ 型式(規格) S-3000N

概 要

本装置は、0.3 kV~30 kVで加速された電子線を光源として二次電子像及び反射電子像を50倍から50,000倍の倍率で観測できる走査電子顕微鏡であり、フィラメント電流の調整、焦点調整、非点収差調整、ガンアライメント等は自動化されている。

本装置の試料台は水平方向の2軸における自動位置決めが可能であり、試料の交換時間は約2分と短い。また、低真空モードに切り替えることによって、試料表面に金蒸着やカーボンコーティングなどの前処理なく、不導体試料の観察が可能となる。

仕様

  • 分解能:二次電子像分解能 3.0nm保証(高真空モ-ド)、 反射電子像分解能4.0nm保証(低真空モ-ド)
  • 加速電圧:0.3~30kV
  • 排気系:高真空モード 到達真空度 1.5×10-3Pa、低真空モ-ド 低真空範囲 1~270Pa
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