エレクトロニクス研究所

走査型プローブ顕微鏡

機器通称 SPM 保管場所 E棟1F計測センター
メーカー (株)日立ハイテクサイエンス 型式(規格) ステージユニット:AFM5200S
プローブステーション:AFM5000Ⅱ

概 要

本装置は、プローブ(探針)と試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する走査型プローブ顕微鏡(SPM、Scanning Probe Microscope)である。特に有機(高分子)、半導体(エレクトロニクス)、無機材料、金属(誘電体、磁性体)、生体などの幅広い分野で使用されている。また、AFM(Atomic Force Microscopy)と呼ばれることもある。

測定モードは、基本モードと、そこから派生した様々な物性マッピングが可能な多機能モードの二つに大別できる。

基本性能

  • 検出系:光てこ方式
  • 検出系の光源:低コヒーレント型半導体レーザー
  • 分解能:原子分解能
  • 試料サイズ:最大35 mmφ、厚さ10 mm
  • スキャナ(走査範囲):オープンループ  XY:20 µm/Z:1.5 µm,  XY:150 µm/Z:5 µm
  • 光学顕微鏡:ズーム機能付顕微鏡
  • 基本機能:AFM(原子間力顕微鏡), DFM(共振型SPM), PM(位相測定), FFM(摩擦力顕微鏡)
  • 拡張機能:VE-AFM(マイクロ粘弾性顕微鏡), Adhesion(吸着力顕微鏡), C-AFM(導電性顕微鏡), SSRM(広がり抵抗顕微鏡), SNDM(非線型誘電率顕微鏡), PRM(圧電応答顕微鏡), KFM(表面電位顕微鏡), EFM(静電気力顕微鏡, MFM(磁気力顕微鏡)
  • 除振機構:エア供給式パッシブ除振台
  • 試料移動機構:マニュアルステージXY:±2.5 mm
  • 対応環境:大気
Page
Top